自動(dòng)分選機是能根據測量結果將被測件分成合格、正超差、負超差或將合格品再分成若干類(lèi),以便選擇裝配的自動(dòng)化機器
1、分選機的基本組成
分選機主要是由上料臺、檢測系統和分選系統3個(gè)部分組成。其中測量系統為整臺設備的核心部分,它又包含了厚度模組、線(xiàn)痕模組、隱形裂紋模組、臟污模組、邊緣模組和尺寸、翹曲模組。當硅片從上料臺入片經(jīng)過(guò)測量系統時(shí),會(huì )被這6個(gè)。模組分別檢測、對比,是否達到設定的要求,然后根據所測量的數值分選到對應的倉盒里面,最終將硅片分選出不同的等級。
2、分選機的常見(jiàn)故障及解決方法
當設備出現故障時(shí),我們可以在“Errors”窗口中查看當前的錯誤信息,可以在“Protocol”窗口中查看所有被確認以及未被確認的錯誤信息,以上這些信息都按時(shí)間先后順序進(jìn)行排列。
1) 厚度部分
值(TTV)偏高:硅片碎裂殘留在厚度傳感器上;電氣系統缺陷;布線(xiàn)缺陷。值(TTV)偏低:外側傳感器位置錯誤。TTV值顯示為0:供電電源被關(guān)閉。
2) 線(xiàn)痕部分
無(wú)法在軟件窗口中觀(guān)察到白色激光圖像:如果正在檢修設備,請確認是否已經(jīng)關(guān)閉電源,例如按下了紅色的急停按鈕;檢查軟件設置;控制相機間寬度的馬達運動(dòng)到了錯誤的位置;檢查激光器是否正常工作;檢查激光器供電狀態(tài);檢查相機功能是否正常;檢查連接相機與電腦的數據線(xiàn)是否損壞;檢查電腦內部火線(xiàn)適配器是否正常工作。
硅片邊緣不可見(jiàn):檢查傳送系統的速度設置;線(xiàn)痕測量值偏高;相機鏡頭未對焦準確;激光在硅片上的測量位置太靠近邊緣。
3) 臟污部分
無(wú)法在軟件中觀(guān)察到圖像:檢查光源。
始終較差的質(zhì)量:光源亮度偏暗;錯誤的相機設置(如對焦);錯誤的硅片位置;硅片碎落在下方相機鏡頭上。
4) 翹曲/幾何尺寸部分
無(wú)法在軟件中觀(guān)察到圖像:檢查L(cháng)ED光源是否工作正常。
始終較差的質(zhì)量:光源亮度太暗;錯誤的相機設置(如對焦);錯誤的硅片位置。
自動(dòng)分選機的保養方案
一、潤滑、堅固(適用于專(zhuān)業(yè)維修人員);
1、每月至少檢查一次非免維護軸承的運行狀態(tài),并用相應標號的潤滑油或潤滑脂進(jìn)行潤滑或更替;
2、每月至少檢查一次機器各連接件之間的堅固狀態(tài); 具體參照點(diǎn)檢表。
二、清潔
1、每月至少徹底清冼一次輸送帶、鏈板、機身;
2、每月至少清潔一次各傳動(dòng)部件間的油污、雜質(zhì);
三、調整、更換
1、每月需要檢查各可調節、活動(dòng)傳動(dòng)部件的行程及間隙是否符合標準、必要時(shí)作出調整;
2、按點(diǎn)檢表時(shí)間安排:月份、季度、年份需要更換的損耗件進(jìn)行更換;
四、防護
1、設備的日常使用嚴格遵循安全使用規程;
2、完善的維保人員培訓機制;
3、機器長(cháng)期閑置的應該進(jìn)行清冼并做出設備常規保養后用合適的包裝物料封存。